石墨托盘

• 分类: 设备耗材
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• 日期: 2026-01-12 14:16

石墨托盘是快速退火炉RTP系列配件，涂层可选，如碳化硅石墨托盘，采用进口等静压石墨精密制造，可有效提高设备的温度均匀性（以嘉仪通RTP-3-08为例，温度均匀性可以从1.5%提升到1.0%）。