手动晶圆探针台
晶圆探针台可实现精准可靠的测试与测量分析，帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。
产品详情
晶圆探针台产品介绍
晶圆探针台为小尺寸样品测量电特性提供高精度可控测量环境。
晶圆探针台应用功能
| 基本测试 | 保护气氛电路测试 | 高低温真空探针台 | 超高频探针台 |
| 光电流分析 | FA失效分析 | 晶圆器件性能 | … … |
晶圆探针台产品特点
探针台可实现精准可靠的测试与测量分析，帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能，包括提供材料/器件的IV/CV特性测试、LD/LED/PD的光强/波长测试，射频特性器件失效分析，芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案
晶圆探针台技术参数
| 设备系列 | 常温 | 变温 |
|---|---|---|
| 温度范围 | 常温 | -190~400℃ |
| 控温精度 | – | ±0.1℃（>-120℃） ±0.5℃（≤-120℃） |
| 真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤5.0 e-3Pa | 机械泵≤10Pa 分子泵≤5.0 e-3Pa |
| 探针数量 | 0~6探针可选 | 0~6探针可选 |
| 移动精度 | 1um | 2um |
| XYZ轴行程 | 6in*6in | 50mm*25mm*25mm |
中科嘉维
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