TC-Wafer校准仪

产品介绍

TC-Wafer校准仪，一款专注晶圆温场均匀性测量校准的辅助仪器。适配各类 RTP快速退火炉MOCVD、磁控溅射、刻蚀机、涂胶显影机等需要关注热均匀性测量的相关设备，特殊情况可按需定制。

应用功能

半导体制造工艺调校、RTP设备的测试验证、TC-Wafer的测试验证、相关晶圆热处理设备的测试验证,如CVD,PVD,Photo,等等 ……

产品特点

测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms，能准确测量晶圆温场均匀性；

使用便捷 仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数据，并能自动生成测试报告，支持U盘、蓝牙、无线网络等多种方式导出数据和报告；

显示直观 最多支持20路实时测量(20路以上可定制)，显示实时点位图及温度分布图，可在使用过程中实时观察各点温度变化；

功能强大 10000条历史数据存储量，能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据。可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比；

便携易维护 便携一体化设计，配备磁吸支架可贴靠于RTP表面， Type-C接口65W速充，可迅速更换TC-wafer。

技术参数

部分应用案例

TC Wafer部分合作客户