除适用于嘉仪通快速退火设备外,还可深度定制适用于友商RTP设备的石英腔体/板
采用高纯度石英砂(99.95%)精密制造,透光性好,高温环境下仍可保持稳定的化学性质。用于构建密封、透光的退火腔体。
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