薄膜热电参数测试系统,是专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。
热电材料是一种新型的优质的功能材料,具有体积小、重量轻、无任何机械噪音、不造成任何环境污染等众多优点,常用来制备发电系统或制冷系统。为了进一步提高热电材料的转化效率(热电优值),对其研究从块体慢慢转移到薄膜材料。
热电参数测试仪专门针对薄膜材料的 Seebeck 系数和电阻率测量;
采用动态法测量Seebeck系数,避免了静态测量在温差测量上的系统误差,测量更准确;
采用四线法测量电阻率,测量更加稳定可靠;
采用微伏级别电压表,获得的测试参数更加精确;
可针对客户实际测试需求提供样品载台及腔室的定制化服务;
卡箍设计,方便进行样品更换,提高效率;
友好的软件系统,自动进行测试,并保存数据;
……
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 工作温度 | 环境温度:100K-600K |
| 相对误差精度 | 塞贝克系数≤10%,电阻率≤10% |
| 测量精度 | 塞贝克系数:0.1μV/K,电阻率:1μΩ•m |
| 测量范围 | 塞贝克系数:|S|≥10μV/K 电阻率:1μΩ•m~106μΩ•m |
| 温控精度 | ±0.1K(样品温度,稳定后) |
| 最大升温速率 | 20K/min |
| 样品尺寸 | 长:10mm~18mm;宽:2mm~7mm 厚度:50nm~2mm(不含衬底) |
| 真空度 | 50Pa |



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