石英托架

• 分类: 设备耗材
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• 日期: 2026-01-12 14:23

石英样品托架是快速退火炉RTP系列配件，采用高纯度石英砂（99.95%）精密制造，高温环境下仍可保持稳定的化学性质。用于承载石墨托盘，也可以直接承载晶圆。适用于1-12英寸快速退火炉。