探针台-科教一体
晶圆温探针台为小尺寸样品测量电特性提供高精度可控测量环境。
产品详情
产品介绍
晶圆温探针台可实现精准可靠的测试与测量分析，帮助测量和分析判断晶圆器件的性能。
应用功能
| 基本测试 | 保护气氛电路测试 | 高低温真空探针台 | 超高频探针台 |
| 光电流分析 | FA失效分析 | 晶圆器件性能 | … … |
应用领域
提供材料/器件的IV/CV特性测试、LD/LED/PD的光强/波长测试，射频特性器件失效分析，芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案；
高等院校物理学院、材料学院、电子信息学院等近代物理和应用物理的创新实验；
大学物理的对比与补充实验。
技术参数
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 探针数量 | 0~4探针可选 |
| 样品台尺寸 | 100mm*100mm（4in.） |
| 移动精度 | 1um |
| 卡盘XY行程 | 50mm*50mm |
| 卡盘升降行程 | 10mm |
| Theta行程 | 旋转360°，微调±5°，微调精度±0.1° |
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜 |
中科嘉维
中科嘉维（苏州）半导体科技有限公司是半导体材料物性测量，技术自主创新的高新技术企业。
