测试中心
材料热分析、材料样品制备与加工、材料电磁分析、材料力学分析、材料光学分析
快速热处理
RTP快速退火炉对薄膜、块体、粉体快速热处理
样品测试项目
致力于为客户提供薄膜材料的热、电物性测试分析的整体解决方案！
霍尔效应测试
测试霍尔系数、载流子浓度、迁移率、电阻率
热电参数测试
薄膜、块体热电材料Seebeck系数和电阻率测试
薄膜热导率测试
实时测试薄膜、块体材料的热导率随温度的变化
相变温度分析
对薄膜、块体材料的相变温度进行实时的测试
热膨胀系数分析
测试薄膜、块体在一定温区的平均热膨胀系数
薄膜变温电阻测试
测试薄膜、块体材料电阻率随温度的变化曲线
薄膜材料样品制备
为薄膜材料性能检测提供制样，以满足设备检测需要
TC-Wafer测温
RTP、CVD、PVD、磁控溅射、刻蚀机、涂胶显影机等设备热均匀性测量
主要产品展示
专注于半导体材料物性分析
